摘要:
評估了氧和鋁在Al2O3中的自擴散參數,分析了其擴散機理.得出:(1)在1770~2100K 溫度范圍內,氧分壓不超過1.0×105Pa時,雜質總含量為30×10-6~500×10-6,Mg,Ti含量低于30× 10-6的未摻雜Al2O3單晶中,氧的自擴散系數與溫度的關系式,氧分壓和擴散方向對該擴散系數 值影響不明顯.(2)在1943~2178K范圍,多晶Al2O3中鋁的自擴散系數在10-15到10-14m2/s之間, 擴散活化能為 477 kJ/mol.(3)單晶Al2O3中主要雜質為TiO2和 MgO,摻Ti將降低氧的自擴散系 數,增加鋁的自擴散系數;摻Mg使氧的自擴散系數略有增加;其他雜質對氧和鋁在Al2O3中的 擴散系數影響不大.(4)氧和鋁均通過空位擴散.