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可伐合金與玻璃封接工藝的優化

羅大為 沈卓身

羅大為, 沈卓身. 可伐合金與玻璃封接工藝的優化[J]. 工程科學學報, 2009, 31(1): 62-67. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2009.01.016
引用本文: 羅大為, 沈卓身. 可伐合金與玻璃封接工藝的優化[J]. 工程科學學報, 2009, 31(1): 62-67. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2009.01.016
LUO Da-wei, SHEN Zhuo-shen. Process optimization for glass to Kovar sealing[J]. Chinese Journal of Engineering, 2009, 31(1): 62-67. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2009.01.016
Citation: LUO Da-wei, SHEN Zhuo-shen. Process optimization for glass to Kovar sealing[J]. Chinese Journal of Engineering, 2009, 31(1): 62-67. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2009.01.016

可伐合金與玻璃封接工藝的優化

doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2009.01.016
基金項目: 

國家自然科學基金資助項目(No.50671014)

詳細信息
    作者簡介:

    羅大為(1983-),男,博士研究生,E-mail:luodw2006@gmail.com;沈卓身(1945-),男,教授

  • 中圖分類號: TG496

Process optimization for glass to Kovar sealing

  • 摘要: 研究了熔封氣氛、熔封溫度和熔封時間對玻璃與可伐合金封接件的外觀、氣密性、結合強度、彎曲次數和玻璃沿引線的爬坡高度的影響.結果表明:熔封氣氛的影響很大,隨著熔封氣氛氧化性的增強,玻璃飛濺程度越來越嚴重.隨著熔封時間的延長或者熔封溫度的升高,可伐合金表面為單一FeO或單一Fe3O4氧化膜時與玻璃的結合強度緩慢增加且彎曲次數基本保持不變,雙層氧化膜(FeO+Fe3O4或Fe3O4+Fe2O3)與玻璃的結合強度雖然較高,但彎曲次數卻明顯下降.可伐合金表面氧化膜類型與玻璃沿引線的爬坡高度關系不大,隨著熔封溫度的升高,玻璃沿引線的爬坡高度下降;而隨著熔封時間的延長,玻璃沿引線的爬坡高度急劇下降,當降至140μm后逐漸趨于穩定.推薦的優化工藝條件是:熔封氣氛為弱還原氣氛,熔封溫度在980℃左右,熔封時間為20~30 min.

     

  • 加載中
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出版歷程
  • 收稿日期:  2007-12-14
  • 網絡出版日期:  2021-08-09

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