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基體溫度對碳氮薄膜成分和結構的影響

張永平,  顧有松,  田中卓,  常香榮,  時東霞,  張秀芳

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文章導航 > 工程科學學報  > 2000 >  22(2): 160-162,192
張永平, 顧有松, 田中卓, 常香榮, 時東霞, 張秀芳. 基體溫度對碳氮薄膜成分和結構的影響[J]. 工程科學學報, 2000, 22(2): 160-162,192. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.018
引用本文: 張永平, 顧有松, 田中卓, 常香榮, 時東霞, 張秀芳. 基體溫度對碳氮薄膜成分和結構的影響[J]. 工程科學學報, 2000, 22(2): 160-162,192. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.018
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ZHANG Yongping, GU Yousong, TIAN Zhongzhuo, CHANG Xiangrong, SHI Dongxia, ZHANG Xiufang. Effect of Substrate Temperature on the Composition and Structure of Carbon Nitride Thin Films[J]. Chinese Journal of Engineering, 2000, 22(2): 160-162,192. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.018
Citation: ZHANG Yongping, GU Yousong, TIAN Zhongzhuo, CHANG Xiangrong, SHI Dongxia, ZHANG Xiufang. Effect of Substrate Temperature on the Composition and Structure of Carbon Nitride Thin Films[J]. Chinese Journal of Engineering, 2000, 22(2): 160-162,192. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.018
shu

基體溫度對碳氮薄膜成分和結構的影響

doi: 10.13374/j.issn1001-053x.2000.02.018

  • 1. 北京科技大學材料科學與工程學院, 北京 100083;

  • 2. 中國科學院物理所北京真空物理實驗室, 北京 100080

基金項目: 

國家自然科學基金資助課題(No.19674009)

詳細信息
    作者簡介:

    張永平,男,33歲,博士生

  • 中圖分類號: O484.1

Effect of Substrate Temperature on the Composition and Structure of Carbon Nitride Thin Films

  • 1. Material Science and Engineering School, UST Beijing, Beijing 100083, China;

  • 2. Beijing Laboratory of Vacuum Physics, Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080

    摘要
  • 摘要: 采用微波等離子體化學氣相沉積法,N2/CH4作反應氣體,在Si(100)基體上沉積β-C3N4化合物.使用X射線光電子能譜(XPS)研究了基體溫度對碳氮薄膜的成分和結構的影響,結果表明:隨著溫度的提高,N/C原子比迅速提高,α-和β-C3N4在薄膜中的比例隨之提高,超過一定的溫度后,N/C原子比將會降低.傅立葉變換紅外光譜(FT-IR)和喇曼(Raman)譜結果支持C-N鍵的存在.

     

    Abstract: The carbon nitride thin films have been prepared on Si substrates, using N,/CH. as reactive gases, by microwave chemical vapor deposition method. The effect of substrate temperature on the composition and structure of carbon nitride thin films were studied by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). As the substrate temperature increased, the N/C atomic ratios increased rapidly first and then decreased a little after a crucial temperature. Fourier transform infrared (FT-IR) and Raman spectra support the existence of C-N covalent bond.

     

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出版歷程
  • 收稿日期:  1999-01-12
  • 網絡出版日期:  2021-08-27

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