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DC PJ-CVD等離子體炬通道中的電弧行為

李惠琪 鐘國仿 呂反修 楊讓

李惠琪, 鐘國仿, 呂反修, 楊讓. DC PJ-CVD等離子體炬通道中的電弧行為[J]. 工程科學學報, 1994, 16(6): 547-550. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.06.009
引用本文: 李惠琪, 鐘國仿, 呂反修, 楊讓. DC PJ-CVD等離子體炬通道中的電弧行為[J]. 工程科學學報, 1994, 16(6): 547-550. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.06.009
Li Huiqi, Zhong Guofang, Lu Fanxiu, Yang Rang. Arc Action in Passage of DC PJ-CVD Plasma Torch[J]. Chinese Journal of Engineering, 1994, 16(6): 547-550. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.06.009
Citation: Li Huiqi, Zhong Guofang, Lu Fanxiu, Yang Rang. Arc Action in Passage of DC PJ-CVD Plasma Torch[J]. Chinese Journal of Engineering, 1994, 16(6): 547-550. doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.06.009

DC PJ-CVD等離子體炬通道中的電弧行為

doi: 10.13374/j.issn1001-053x.1994.06.009
詳細信息
    作者簡介:

    李惠琪 男 40歲 博士

  • 中圖分類號: TF748.93

Arc Action in Passage of DC PJ-CVD Plasma Torch

  • 摘要: 運用電磁學和熱流體學的方法研究了直流大陽極噴嘴長電弧通道等離子體炬中電弧的行為,并通過實驗證明了溫度梯度與電場梯度作用于流體時所產生的特殊現象;結果表明:電弧弧柱的高溫效應劇烈排斥冷氣流的混入,使CVD過程受到抑制.新產生的膠體粒子在熱泳現象作用下逐漸沉積于通道內壁上.改變不同氣體的進氣位置以及減小溫度與電場梯度并增設徑向旋轉磁場,可有效地解決上述問題.

     

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出版歷程
  • 收稿日期:  1993-04-20
  • 網絡出版日期:  2021-11-13

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